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半導體行業用的荏原真空泵故障維修，找經驗豐富的EBARA真空泵維修廠家，保障真空泵穩定可靠運行。

給大家展示貝之特真空近期維修的半導體行業用的荏原真空泵，如下圖

EV-M102N荏原真空泵維修

EV-X200N荏原真空泵維修

AA70W荏原真空泵維修

通過拆解EBARA荏原真空泵，可清晰看到腔體、轉子表面附著制程物，軸承需要重新更換，兩邊端蓋也需要清理等，為了更好的維護保養真空泵配件，貝之特真空會用專業設備清晰表面異物，然后修復配件，更換損壞配件，密封件以及軸承等，然后再準確安裝并調試，荏原真空泵各項性能參數測試通過即可投入使用咯。